1959年，美国物理学家理查德·费曼（richard feynman）在他著名的演讲《底部有足够的空间》中首次提出了将机器小型化到原子和分子层面的想法。然而，直到20世纪80年代和90年代，mems（微机电系统）技术才逐渐开始得到开发并走向商业化。
mems传感器的历史可以追溯到1962年，世界上第一个硅微压力传感器的诞生，标志着mems技术的发展起点。早期，霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室在相关领域的研究为这一技术奠定了基础，推动了硅隔膜压力传感器和应变计的问世。
随着时间的推移，人们对mems传感器的兴趣迅速增长。到1960年代末，许多美国公司已开始生产首批mems压力传感器。
如今，mems技术已成为传感器领域的核心推动力，促使传感器小型化、集成化、低功耗等特性得以实现，并在物联网、智能手机、汽车等领域大放异彩。每年，全球mems传感器的出货量达数百亿件。以下是几种取得商业成功的mems传感器及执行器。
1. mems麦克风：移动设备中的革命者
1961年，贝尔实验室研制出第一款驻极体麦克风（ecm），它利用声音引起振膜电容变化，将声音转化为电信号。这种麦克风一度主导市场40多年，直到2003年，楼氏电子推出了首款商用mems麦克风sisonic，使得该技术迅速普及并广泛应用于移动设备。
2. mems惯性传感器：赋予设备感知运动的能力
世界上第一款真正大规模商用的mems传感器是加速度计，由美国adi公司于1991年推出，主要用于汽车安全气囊。相比传统传感器，mems加速度计价格低廉，推动了汽车安全系统的大规模普及。如今，mems惯性传感器广泛应用于手机、智能手表、tws耳机等设备中，测量设备的加速度和旋转状态。
3. mems压力传感器：推动微小化检测的前沿技术
mems压力传感器是测量物理压力的关键工具。与传统传感器相比，mems压力传感器具有灵敏度高、体积小、稳定性好、易于大规模生产等优点。其应用范围从汽车到医疗设备，甚至可穿戴设备中，实现血压监测、心率检测等功能。
4. mems dlp芯片：颠覆投影技术
mems技术在投影显示领域的突破性应用体现为dlp芯片的发明。德州仪器（ti）的dlp技术推动了数字电影时代的到来，其基于mems的数字微镜装置（dmd）可以控制数百万个微镜的反射，从而实现精确的光线调控，广泛应用于投影仪和其他显示设备中。
5. mems喷墨头：不仅用于打印文字
mems喷墨打印头是喷墨打印机的核心部件，它通过压电或热气泡技术将墨水挤出。除了打印设备外，mems喷墨技术还广泛应用于生物领域，特别是在dna合成等高精度技术中，推动了基因研究的发展。
结语
mems技术是21世纪最具颠覆性的技术之一，从麦克风到惯性传感器，再到喷墨头，这些mems器件广泛应用于各行各业，推动了科技的进步。未来，随着新技术的不断涌现，mems器件将在更多领域展现其巨大的潜力。
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